大學(xué)石墨烯制備爐PECVD產(chǎn)物簡(jiǎn)介：此款裝備配有Plasma完成等離子加強(qiáng)，滑軌式設(shè)計(jì)在操縱時(shí)可將試驗(yàn)需要的恒定低溫間接推到樣品處，使樣品能獲得一個(gè)疾速的升溫速率，異樣也可將低溫的管式爐間接推離樣品處，使樣品間接裸露在室溫情況下，獲得疾速的降溫速率。并可選配氛圍微調(diào)裝配，可的節(jié)制反響腔體外部的氣體壓力，帶刻度的調(diào)理閥對(duì)付做高壓CVD異常簡(jiǎn)略適用，工藝反復(fù)性好，對(duì)付石墨烯發(fā)展工藝異常適合，也異樣適用于請(qǐng)求疾速升降溫的CVD試驗(yàn)。 

大學(xué)石墨烯制備爐PECVD重要功效和特色： 

1、應(yīng)用輝光放電發(fā)生等離子體電子啟動(dòng)氣相； 

2、進(jìn)步了氣相反響的堆積速率、成膜品質(zhì)； 

3、可通過調(diào)劑射頻電源頻率來節(jié)制堆積速率； 

4、能普遍用于：石墨烯、SiOx、SiNx、CNx、TiCxNy等薄膜的發(fā)展。 

大學(xué)石墨烯制備爐PECVD

開啟式真空管式爐技巧參數(shù) 

石英管尺寸 L1400mm  Φ（60、80、100） 

加熱元件 摻鉬鐵鉻鋁合金電阻絲 

測(cè)溫元件 K型熱電偶 

加熱區(qū)長(zhǎng)度 410mm   

恒溫區(qū)長(zhǎng)度 200mm 

事情溫度 ≤1100℃ 

控溫形式 隱約PID節(jié)制和自整定調(diào)理，智能化30段可編程節(jié)制，具備超平和斷偶報(bào)警功效 

控溫精度 ±1℃ 

升溫速率 ≤20℃/min 

電功率 AC220V/50HZ/3KW 

品質(zhì)供氣體系技巧參數(shù) 

形狀尺寸 600x600x600mm 

尺度量程 50sccm（CH4）、200sccm（H2）、500sccm（Ar、N2）；

數(shù)顯壓力表丈量規(guī)模 -0.1Mpa～0.15Mpa 

極限壓力 3MPa 

針閥 316不銹鋼 

截止閥 Φ6mm 316不銹鋼針閥 

電功率 AC220V/50HZ/20W 

回應(yīng)光陰 氣特征：1～4 Sec，電特征：10 Sec 

度 ±1.5% 

線性 ±0.5～1.5% 

反復(fù)精度 ±0.2% 

界面 Φ6,1/4'' 

真空體系技巧參數(shù) 

造型尺寸 600×600×600mm 

事情電電壓 220V±10%  50~60HZ 

功率 400W 

抽氣速率 4Ls 

極限真空 4X10-2Pa 

試驗(yàn)真空度 1.0X10-1Pa 

容油量 1.1L 

進(jìn)氣口口徑 KF25 

供電電壓 單相交流（187V-253V） 頻率50/60HZ

整機(jī)效率 >=70%

功率因素 >=90%

冷卻方式 強(qiáng)制風(fēng)冷